[...] Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización catódica o implantación de iones del material que constituye el revestimiento (tubos de descarga provistos de medios que permiten la introducción de objetos o de un material para ser expuestos a la descarga H01J 37/00). C23C 14/00' de la CIP.

SECCION C — QUIMICA; METALURGIA > REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS (por metalización de textiles D06M 11/83; decoración de textiles por metalización local D06Q 1/04 ); TRATAMIENTO QUIMICO DE LA SUPERFICIE; TRATAMIENTO DE DIFUSION DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (para aplicaciones particulares ver las clases apropiadas, p. ej. para la fabricación de resistencias H01C 17/06 ); MEDIOS PARA IMPEDIR LA CORROSION DE MATERIALES METALICOS, LAS INCRUSTACIONES, EN GENERAL (tratamiento de la superficie metálica o revestimiento de metales por electrólisis o electroforesis C25D, C25F) > REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO DE MATERIALES METALICOS POR DIFUSION EN LA SUPERFICIE, POR CONVERSION QUIMICA O SUSTITUCION; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (aplicación de líquidos o de otros materiales fluidos sobre las superficies, en general B05; fabricación de productos revestidos de metal por extrusión B21C 23/22; revestimiento metálico por unión de objetos con capas preexistentes, ver las clases apropiadas, p. ej. B21D 39/00, B23K; mecanizado del metal por acción de una fuerte concentración de corriente eléctrica sobre un objeto por medio de un electrodo B23H; metalización del vidrio C03C; metalización de piedras artificiales, cerámicas o piedras naturales C04B 41/00; pinturas, barnices, lacas C09D; esmaltado o vidriado de metales C23D; medios para impedir la corrosión de materiales metálicos, las incrustaciones, en general C23F; crecimiento de capas monocristalinas C30B; detalles de aparatos que emplean técnicas de barrido con sonda, en general G12B 21/00; fabricación de dispositivos semiconductores H01L; fabricación de circuitos impresos H05K) > Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización catódica o implantación de iones del material que constituye el revestimiento (tubos de descarga provistos de medios que permiten la introducción de objetos o de un material para ser expuestos a la descarga H01J 37/00)

  • Pretratamiento del material a revestir (C23C 14/04 tiene prioridad).
  • Revestimiento de partes determinadas de la superficie, p. ej. por medio de máscaras.
  • caracterizado por el material de revestimiento (C23C 14/04 tiene prioridad).
  • Oxidos (C23C 14/10 tiene prioridad).
  • Vidrio o sílice.
  • Compuesto orgánico.
  • Material metálico, boro o silicio.
  • sobre sustratos metálicos, en boro o en silicio.
  • sobre otros sustratos inorgánicos.
  • sobre sustratos orgánicos.
  • caracterizado por el proceso de revestimiento.
  • Evaporación en vacío.
  • por calentamiento de la fuente por inducción o por resistencia.
  • por energía electromagnética o por radiación corpuscular (C23C 14/32 - C23C 14/48 tienen prioridad).
  • por explosión; por evaporación seguida de una ionización de vapores (C23C 14/34 - C23C 14/48 tienen prioridad).
  • Pulverización catódica.
  • por aplicación de un campo magnético, p. ej. pulverización por medio de un magnetrón.
  • Pulverización por medio de diodo (C23C 14/35 tiene prioridad).
  • Pulverización por medio de triodo (C23C 14/35 tiene prioridad).
  • por un haz de iones producido por una fuente de iones externa (C23C 14/40 tiene prioridad).
  • Implantación de iones.
  • Portasustrato.
  • Dispositivos para observar los procesos de revestimiento.
  • Control o regulación de procesos de revestimiento (control o regulación en general G05).
  • Aparatos especialmente adaptados al revestimiento en continuo; Dispositivos para mantener el vacío, p. ej. cierre estanco.
  • Tratamiento posterior.
  • por bombardeo de electrones.
  • por descarga luminiscente en corriente continua.
  • por descarga en corriente alterna, p. ej. por descarga en alta frecuencia.
  • utilizando altas frecuencias y potenciales continuos adicionales.