[...] Procesos de difusión o de dopado de monocristales o de materiales policristalinos homogéneos de estructura determinada; Aparatos para estos efectos. C30B 31/00' de la CIP.
SECCION C — QUIMICA; METALURGIA > CRECIMIENTO DE CRISTALES (separación por cristalización en general B01D 9/00) > CRECIMIENTO DE MONOCRISTALES (por sobrepresión, p. ej. para la formación de diamantes B01J 3/06 ); SOLIDIFICACION UNIDIRECCIONAL DE MATERIALES EUTECTICOS O SEPARACION UNIDIRECCIONAL DE MATERIALES EUTECTOIDES; AFINAMIENTO DE MATERIALES POR FUSION DE ZONA (afinamiento por fusión de zona de metales o aleaciones C22B ); PRODUCCION DE MATERIALES POLICRISTALINOS HOMOGENEOS DE ESTRUCTURA DETERMINADA (colada de metales, colada de otras sustancias por los mismos procedimientos o aparatos B22D; trabajo de materias plásticas B29; modificación de la estructura física de metales o aleaciones C21D, C22F ); MONOCRISTALES O MATERIALES POLICRISTALINOS HOMOGENEOS DE ESTRUCTURA DETERMINADA; TRATAMIENTO POSTERIOR DE MONOCRISTALES O DE MATERIALES POLICRISTALINOS HOMOGENEOS DE ESTRUCTURA DETERMINADA (para la fabricación de dispositivos semiconductores o de sus partes constitutivas H01L ); APARATOS PARA ESTOS EFECTOS > Procesos de difusión o de dopado de monocristales o de materiales policristalinos homogéneos de estructura determinada; Aparatos para estos efectos
- por contacto con la sustancia de difusión en estado sólido.
- por contacto con la sustancia de difusión en estado líquido.
- por contacto con la sustancia de difusión en estado gaseoso (C30B 31/18 tiene prioridad).
- siendo la sustancia de difusión un compuesto de los elementos a difundir.
- Recintos de reacción; Empleo de un material específico para este fin.
- Calefacción del recinto de reacción.
- Portasustrato o soportes.
- Medios de introducción y evacuación de gases; Modificación de la corriente de los gases.
- Control o regulación (control o regulación en general G05).
- Dopado por irradiación por medio de radiaciones electromagnéticas o por radiación corpuscular.
- por implantación de iones.